真空泵與真空系統(tǒng)設(shè)計制造商
技術(shù)參數(shù)單位nEXT400
入口法蘭"DN160 ISO-K or DN160CF
入口抽速l/s400
壓縮比（D or T）"＞1×1011
中間級抽速l/s13
排氣口/中間級接口/增壓口"NW25
放氣/吹掃口"1/8"BSPP
臨界前級壓力mbar9.5
最大連續(xù)入口流量（水冷）sccm105
最高允許入口法蘭烘烤溫度（僅CF、水冷）℃120
最大允許連續(xù)前級壓力（水冷）mbar7.5
前級泵推薦"RV12/nXDS10i
額定轉(zhuǎn)速rpm60000
到90%速度的啟動時間D（T）s180（210）
噪音dB(A)＜45±3
重量D（T）ISOKg6.5（6.8）
重量D（T）CF9.5（9.8）

nEXT400渦輪分子泵.png

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