超高真空系統(tǒng)選泵的注意事項(xiàng)

超高真空主要用于表面研究、熱核反應(yīng)、高能加速器、半導(dǎo)體研究、空間模擬等科學(xué)領(lǐng)域中。目前超高真空實(shí)用真空度可達(dá)10﹣12Pa。

超高真空系統(tǒng)都是根據(jù)工藝要求由用戶自行設(shè)計(jì)或委托制造廠商特殊加工制造的，很難買到適合用戶要求的成套超高真空機(jī)組。超高真空系統(tǒng)的選泵、選材、選閥門和選密封機(jī)構(gòu)等要求嚴(yán)格；焊接加工和方法與常規(guī)不同；要求漏氣率和放氣漏比普通真空系統(tǒng)要低；抽真空時(shí)還要采用烘烤措施等。

那么這么一個(gè)超高真空系統(tǒng)在選泵的時(shí)候又有哪些注意事項(xiàng)呢？怎樣才是更適合的呢？今天就此問題簡單的說一下。

對超高真空系統(tǒng)使用的真空泵要求，除通常的選泵原則外，還有：

1、主泵極限真空要比真空裝置的工作真空高一個(gè)到一個(gè)半數(shù)量級，如工作真空選1×10﹣6Pa，那么泵的極限真空至少為1×10﹣7Pa;

2、在真空裝置的工作真空范圍內(nèi)，真空泵要有足夠的抽速，以便排走裝置中的氣體;

3、主泵或者主泵入口到真空室排氣口的管道，冷阱、擋板、閥門等均能受250～450℃的烘烤;

4、主泵對被抽氣體有選擇性抽氣時(shí)，應(yīng)配輔助泵聯(lián)合抽氣;

5、真空泵所用剛才應(yīng)選用不銹鋼。

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